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超音波洗浄は主にキャビテーション、加速度、物理化学的反応促進作用の3つの相互によるものとされている。超音波洗浄のメカニズムでは、蒸気の3要素の中でも「キャビテーション」が最も重要な役割を果たしている。キャビテーションとは、液体の流れの中で圧力差により短時間に泡の発生と消滅が起きる物理現象の事。